制备基于固态纳米孔的对温度和pH双重响应的纳米流体二极管的方法一种晶圆级真空集成封装结构及其制造方法偏振多通道超构表面光学元件及重建全彩全息图像的方法一种单击序列全息成像系统和方法半导体芯片一种在衬底上制作悬浮红外热堆的方法Bosch工艺的工艺参数的监控方法、系统和存储介质一种磁场/加速度集成传感器和集成化工艺方法微机械构件和用于制造微机械构件的方法一种基于部分角谱法的快速全息图生成和高质量再现方法一种基于超表面阵列结构实现迂回相位编码复用的方法SLMs阵列拼接方法、拼接件及其拼接架半导体结构及其形成方法基片的刻蚀方法一种抗干扰耐过载mems加速度计的制备方法表面等离激元共振装置及制备方法、吸水量检测系统及方法一种可视化检测尼古丁的纸质传感器及其制备方法和应用用于数字全息中存在干扰物的目标物快速识别聚焦方法Moems二分量加速度传感器、测量系统及工作方法一种支持wifi通信方式的空气全息显示设备一种电子皮肤及其制备方法一种mems层叠器件微波端口实现的工艺方法一种复合sers基底及其制备方法和应用超表面彩色全息的制备方法及光学系统一种氮化镓微米线阵列光电探测器及其制备方法一种具有tsv结构的mems芯片及其圆片级气密性封装方法一种提高射频mems开关中聚酰亚胺牺牲层平整度的方法一种制备平行等宽微结构的方法一种大尺寸全息显示装置集成于纳米线的片上光谱仪及其探测器阵列的制备方法一种高分子材料表面褶皱结构的构筑方法一种mems应力隔离封装结构及其制造方法一种传感器芯片的制造方法一种规则金字塔锥及其制备方法与应用基于空间光调制器的光场三维成像装置及系统一种基于高刷新率LCoS的大视角全息显示系统一种基于数字轴锥镜的全息轴向色差补偿方法基于mems工艺的碱金属原子微型气室的制备方法一种薄膜电极及其液相自攀爬制备方法与应用Mems传感器组件制造方法、以及以该法制造的mems传感器组件键合垫层系统、气体传感器和用于制造气体传感器的方法用于将图像信息引入体积全息图的方法一种圆形微纳通道的制备方法及其产品基于叠层超表面实现双通道纳米印刷和双通道全息的方法消除零级光的振幅型超表面计算全息片的设计方法工艺腔室和半导体处理设备一种全金属微惯性系统器件及其加工方法一种基于大数据的司法痕检用全息显微设备一种基于金属网栅的透明电磁屏蔽材料的制备方法在结构材料层中提供多个通孔的方法一种超材料薄膜的无基底悬空式多层高精度纳米加工工艺基于选择性刻蚀的无光刻制备导电薄膜图形的装置及方法一种工件表面微结构的电辅助快速压印成形装置一种半导体电镀方法一种抗湿度干扰功能化硅纳米线气敏传感器及其制备方法触觉接口、用于触觉接口的图案化的层结构及其产生方法一种将内镜下图像全息化的方法及装置一种Ti纳米管、其制备方法和用途一种带有空腔的器件封装结构和方法物理量检测传感器的制造方法、物理量检测传感器微流控芯片和制造微流控芯片的方法全像影像片体、全像影像记录方法与重建方法微机电泵的制造方法一种阵列结构硅基靶板及其应用利用超短脉冲激光直写全息防伪图案的方法一种增强签注图像效果的结构、防伪证卡、及签注方法一种刻蚀方向可变的硅纳米孔结构及其制备方法电磁场控制等离子体的激光掩膜刻蚀方法以及系统半导体装置及其制备方法硅基四棱台状微型通孔阵列、其制备方法和应用微机电系统结构及其制造方法以及制造积体晶片的方法Mems器件晶圆级封装方法及封装结构电容性微结构一种基于纳米线材料的柔性电极复杂图案的制备方法一种高精度微流道网络制作方法基于力位控制的复杂曲面微纳结构加工的实验装置及方法一种基于多狭缝扩展记录频域全息成像的方法及装置全息显微成像装置一种基于菲涅尔双面镜连续太赫兹波自参考数字全息成像方法一种利用关联涡旋阵列实现微粒光漏开关的装置微型立体全息成像装置全息成像方法及用于全息成像方法的二维x射线多层膜波导结构具有物理视频面板的同步全息显示和3d对象一种宽光谱极低透射结构及其制备工艺Mems桥梁柱结构及形成方法组合全息技术防伪标识及其制作方法基于压电陶瓷的透射式相位显微成像测量系统一种用于制备纳米层状复合材料的模具及方法可调谐频率状态的mems集成微波驻波计及制备方法一种不规则精密零件数字全息显微成像设备使用纳米喷射微结构对电介质材料层的无粘合剂粘合用于生物植入的柔性可拉伸神经探针以及其制备方法一种制备半导体性碳纳米管阵列薄膜的方法一种应用于全息显示的相位型空间光调制器串扰效应校正方法弹性体pdms多级褶皱表面的快速制备方法一种选择性剥离光刻胶制备微纳结构的方法引入牺牲层的阳极氧化铝薄膜牢固金属纳米颗粒的方法微机电系统传感器的封装方法和封装结构一种液体辅助降低纳米带接触热阻的方法一种用于柔性mems器件的转印工艺方法